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micro-epsilon/高精度晶圓檢測用白光干涉儀特征?

更新時間:2023-10-31      瀏覽次數(shù):466

干擾 米 IMS5420-TH

高精度硅晶圓厚度測量

IMS5420是一種高性能白光干涉儀,用于單晶硅片的非接觸厚度測量。該控制器有一個寬帶超發(fā)光二極管(雪橇)的波長范圍為1100納米。這使得不摻雜、摻雜和高摻雜硅晶圓片的厚度測量僅有一個測量系統(tǒng)。IMS5420的信號穩(wěn)定性小于1納米。厚度可以測量在24毫米的距離


特征
  • 不摻雜、摻雜和高摻雜晶圓的納米精密厚度測量

  • 多峰:獲取最多5層,硅厚度0.05至1.05毫米

  • 1納米z軸的高分辨率

  • 精密晶圓厚度測量

    由于硅晶圓在1.100納米波長范圍內(nèi)的光學透明度,使IMS5420干涉儀能夠精確地檢測到其厚度。在這個波長范圍內(nèi),不摻雜硅和摻雜晶圓都提供了足夠的透明度。因此,晶圓厚度可檢測到1.05毫米以下。氣隙的可測量厚度甚至高達4毫米.

  • IMS5420干涉儀能夠測量不摻雜、摻雜和高摻雜硅晶圓片的厚度,因此提供了廣泛的應用。該晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種理想的單晶硅晶圓片的測量,其幾何厚度為500~1050公分米,摻雜量最高可達6米。即使是高摻雜的晶圓,厚度也可測量到0.8毫米。這是因為越來越多的導致透明度下降。

  • 壓痕過程中的精確厚度測量

    在晶圓制造中,晶硅錠被切成大約1毫米的薄片。然后,將光盤磨碎,并將其折疊,以獲得所需的厚度和表面光潔度。為了實現(xiàn)高的工藝穩(wěn)定性,干涉儀被用來在磨床和研磨機中進行內(nèi)線厚度測量。由于設計緊湊,傳感器也可以集成在受限的安裝空間中.厚度值用于機器控制和晶圓的質(zhì)量控制。

  • 模型測量范圍/
    測量范圍的開始
    線性可測量層數(shù)
    應用領(lǐng)域
    IMS5420-TH240.05 ... 1.05 mm (for silicon, n=3.82)
    0.2...4毫米(空氣,n=1)/約24毫米,工作范圍約為24毫米。6毫米
    < ±100 nm1層內(nèi)聯(lián)厚度測量,例如。磨后或拋光后。
    IMS5420MP-TH24單層的?100納米
    用于額外層的
    多達5層內(nèi)聯(lián)厚度測量,例如。用于涂層后涂層厚度的質(zhì)量控制
    IMS5420/IP67-TH24< ±100 nm1層工業(yè)線厚度的測量
  • 現(xiàn)代接口,用于集成到機器和系統(tǒng)

  • 該控制器提供諸如以太網(wǎng)、以太貓和RS422等集成接口,以及額外的編碼器連接、模擬輸出、同步輸入和數(shù)字I/OS。當你使用微型EPELIN的接口模塊時,就可以使用普羅菲內(nèi)特和醚頭。這使干涉儀能夠被整合到所有的控制系統(tǒng)和生產(chǎn)程序中

  • 相似物RS422以太網(wǎng)醚貓長線醚尖頭

  • 快速測量最高可達6千赫茲的測量率

  • 以太網(wǎng)/以太網(wǎng)/RS422/以太網(wǎng)/IP

  • 通過Web接口容易參數(shù)化




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